永州无尘室车间设计施工厂家“本信息长期有效”

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    2023-11-27

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    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。







    空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端,空气过滤的安装方式应简便---,宜检漏和更换;中效、亚、空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。





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