洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，无尘室车间设计施工，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，张家界无尘室车间设计施工厂家，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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