无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、---等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
净化工程中空气净化处理方案:
●确定集中或分散式净化空气调节系统时,应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时,位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室,宜采用集中式净化空气调节系统。
●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。
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